丙醇洗铝合金可以吗

可以。铝合金是半导体刻蚀设备使用的重要材料，其反应室的关键零部件多为铝合金制造。 根据设计要求，这些零部件表面有的需要经过表面处理，比如硬质阳极氧化、等离子喷 涂、导电氧化、刷度镍等，有的则直接采用铝金属表面。

在集成电路制造过程中，铝合金 零部件需经常周期性地进行清洗，零部件清洗质量的好坏关系到刻蚀工艺是否可以正常进 行。