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1.铝的介电常数是固定的.可以通过测试得到电阻率,然后李工公式直接计算处理.
2.铝层的厚度如果在nm级别.可以用光学方法如椭偏仪,反射计等方法测试得到厚度.
3.再就是台阶仪了.但要自己刻一个台阶出来,否则不能测.
对于铝膜的厚度,我们使用一种专门的铝膜测厚仪,该仪器好像是利用磁涡流原理。