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谢邀。这个我自己抛光过TiNi基的,比较软,不过一微米大小的微区,AFM扫出来的粗糙度Ra也能控制在0.8 nm以下。总结来说,最后粗磨至少要3000目的砂纸,之后用SiO2抛光液配合多孔氯丁抛光皮抛光。如果要求非常高,建议抛光时配合相关氧化剂进行化学机械抛光,效果较好。