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回答 2 2024-06-10 19:14

超纯铝溅射靶材用途

已解决 悬赏分:70 - 解决时间 2025-08-29 23:53
超纯铝溅射靶材用途急求答案,帮忙回答下
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超纯铝(Ultra-pure Aluminum)溅射靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)等镀膜工艺中的靶材。它由高纯度的铝材料制成,通常具有纯度超过99.999%。

超纯铝溅射靶材具有以下主要用途:

1. 光学薄膜:超纯铝溅射靶材常用于制备光学薄膜,如反射镜、光学滤光片等。通过溅射沉积超纯铝薄膜,可以实现对光的反射、透过和吸收等特性的调控,用于改善光学器件的性能。

2. 电子器件:超纯铝溅射靶材也用于制备电子器件中的导电层。超纯铝薄膜具有良好的电导率和导电性能,可用于薄膜电阻器、电极、接触层等电子器件中。

3. 金属涂层和保护层:由于铝具有良好的耐腐蚀性和可焊性,超纯铝溅射靶材还可用于制备金属涂层和保护层。铝涂层可提供耐腐蚀性、耐磨性、导电性等特性,常用于防护、装饰和导电需求的应用中。

4. 研究和实验:超纯铝溅射靶材还可在科学研究和实验中使用,如表面分析、材料性能测试等。

需要注意的是,超纯铝溅射靶材的具体用途取决于应用的需求和工艺要求。它的高纯度和优良的性能使其在各种应用领域中都有重要的应用价值。

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溅射靶材可用于微电子领域、显示器、存储用及高温耐蚀、耐磨材料、装饰用品等行业,用途非常广泛。

溅射靶材主要是由靶坯、背板等部分构成,靶坯属于高速离子束流轰击的目标材料,是核心部分,在溅射镀膜的过程中,靶坯被离子撞击后,表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。因为高纯度金属强度较低,可是溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程,机台内部为高电压、高真空环境,所以超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板主要起到了固定溅射靶材的作用,以及良好的导电、导热性能。

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