dep是什么工艺

DEP是Dielectrophoresis（介电泳）的缩写。在晶体管工艺中，DEP常用于制备以纳米微粒为基础的电子器件。通过改变微粒的分布位置和相互间的距离，可以实现器件大小和性能的调控，从而得到优异的电子特性。DEP技术是一种有效的微纳米尺度物体精密操纵和组装技术，被广泛应用于微纳米加工、生物科学、化学分析等领域。