pvd靶材是什么意思

PVD靶材是在物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）过程中使用的一种材料。"靶材"或"靶"就是被用来沉积的物质。这个材料被安置在PVD设备中的一个特定位置，被称为"靶"位置。

在PVD过程中，靶材被电子束、离子束或其它方式激发，使得其表面的原子或分子从固态转变为气态（蒸发或溅射），然后这些气态的原子或分子在基材上冷却和凝结，形成薄膜。

常见的PVD靶材包括各种金属和合金、氧化物、硅化物等，选择哪种靶材取决于所需薄膜的具体性质和应用。