研磨的精度最高到多少

超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨加工出的球面不球度达0．025ttm，表面粗糙度达RaO．003μm。利用弹性发射加工可加工出无变质层的镜面，粗糙度可达5A。最高精度的超精密研磨可加工出平面度为λ／200的零件。超精密研磨的的关键条件是几乎无振动的研磨运动、精密的温度控制、洁净的环境以及细小而均匀的研磨剂。