关于真空技术方向的专业课程设置，综合多来源信息整理如下：
机械设计基础
包括机械原理、机械设计方法、制造工艺等，为真空设备设计提供理论基础。
真空技术
掌握真空获得、维持及测量技术，是真空方向的核心课程。
控制工程
侧重真空系统的自动化控制与信号处理。
流体机械及工程
研究稀薄气体流动特性及设备设计，为真空技术提供工程实践基础。
电子科学与技术
电子线路设计、半导体物理等课程，结合真空电子技术需求。
光学工程
光学设计、光学仪器等课程，应用于真空光学系统（如激光真空系统）。
电子信息工程
信号处理、微电子技术等课程，强化真空设备的智能化控制。
真空系统设计
学习系统组成、元件选型及设计计算方法。
真空与低温技术
包括制冷技术、低温材料及真空容器设计。
真空镀膜技术
薄膜制备工艺及设备设计。
高等数学、物理、化学
提供数学建模、物理场分析及材料性能分析基础。
工程力学、材料科学
了解真空设备中的力学分析及材料选择。
实验课程
包括真空获得实验、镀膜工艺实验等实践环节。
航天工程导论 ：适用于航天领域真空应用方向。
计算流体力学（CFD） ：用于复杂真空系统模拟。
真空技术方向课程体系强调多学科交叉，以机械设计、真空技术为核心，结合电子、材料、控制等学科知识。不同院校可能根据具体方向调整课程模块，例如真空电子技术方向会强化电子类课程，而真空系统设计方向则侧重工程实践类内容。
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