黑硅制绒设备是太阳能电池制造中的关键设备，主要用于硅片表面制绒处理，以提高光电转换效率。根据不同的工艺需求和设备类型，黑硅制绒设备主要分为以下几类：
槽式制绒设备
通过槽式结构实现硅片制绒，包含初抛槽、酸洗槽、镀银槽、挖孔槽、漂洗槽、烘干槽等模块，可实现连续化生产。
例如：捷佳伟创SC-CSZ6000E-22F单晶/黑硅槽式制绒一体机，产能达300PCS/批，4500PCS/H。
金刚线切割专用设备
用于将多晶硅棒切割成硅片后直接进行制绒，减少中间环节，提升效率。
例如：荣德公司投资3.76亿元建设的黑硅制绒项目，采用金刚线切割设备配套制绒，降低切割损耗18%，提高效率50%。
槽式与链式结合设备
结合槽式机和链式机两部分，通过机械臂或气体吹扫实现硅片上下料和预脱水，提升自动化水平。
例如：无锡创生源智能装备的AWHB-DT系列黑硅在线全自动下料机，兼容单槽单片/双片制绒。
可吹扫装置
采用机械臂和气体吹扫系统，实现硅片在制绒过程中的自动搬运和预脱水，减少人工干预。
例如：镇江仁德新能源科技有限公司申请的带减压阀的制绒机，通过氮气鼓泡实现硅片表面处理。
在线上下料机 ：如黑硅在线全自动下料机，通过多轴机械手抓取硅片并转移至下一工序，提升产能。
可吹扫预脱水槽 ：通过气体吹扫技术，快速去除硅片表面水分，提高制绒效率。
单晶硅片制绒 ：如SC-CSZ6000E-22F单晶/黑硅槽式制绒一体机，适用于高效化生产。
多晶硅片预处理 ：如金刚线切割专用设备，降低切割损耗，提升整体工艺效率。
黑硅制绒设备的发展趋势是向自动化、高效率、低能耗方向发展。新型设备如槽式与链式结合设备、可吹扫装置等，进一步提升了制绒精度和产能，推动了半导体制造工艺的升级。
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